1、分辨率:点分辨率:≤0.49nm、线分辨率:≤0.34nm;
2、加速电压范围:最高120KV,连续可调,最小步长50V;
3、放大倍数:22倍- 34万倍,连续放大;
4、样品台移动范围:X,Y≥±1 mm;Z≥±0.3 mm;
5、样品台回复精度:≤0.5m(X/Y方向)和≤0.5°(Alpha倾斜);
6、样品区极限真空度: < 1.0×10-6 Pa,电子枪极限真空度<1.0×10-6Pa;
7、数字化CCD照相系统像素:2096×2096像素;
8、一体化STEM系统,分辨率:5 nm;
9、一体化能谱仪(EDS)系统探测器:硅漂移SDD电子制冷探头;
10、三维重构系统:具备TEM和STEM两种三维重构模式;